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根据《实施方案》，对在广州、深圳、珠海、佛山、东莞、中山6市设立的外商投资企业：年新增实际外资金额合计达5000万美元及以上的，高技术制造业企业按不高于新增实际外资金额3%的比例予以奖励，其他制造业、高技术服务业企业按不高于新增实际外资金额2%的比例予以奖励，其他行业企业按不高于新增实际外资金额1%的比例予以奖励。